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產(chǎn)品技術(shù)特點產(chǎn)品參數(shù) 電網(wǎng)輸入的交流正弦電壓，通過L－C高壓變換器，轉(zhuǎn)換為交流正弦電流，經(jīng)升壓，整流后成為高壓高壓直流電流源給沉積電場供電。 ●高壓硅整流器由高壓變壓器和高壓硅整流器組成，共同裝入一個方形金屬油箱內(nèi)，并充入清潔干燥的變壓器油。交流輸入電壓由低壓絕緣套管接入，直流高電壓則由高壓絕緣套管引出。 ● 高壓高壓控制柜：由L-C高壓變換器輸出高壓電流源，并設(shè)有過壓保護和報警裝置。當變壓硅整流器工作于非正常狀態(tài)時，控制柜可進行自動保護并同時發(fā)出報警聲。 技術(shù)特點 ● 運行穩(wěn)定，可靠性高，能長期保持沉積效率，能承受瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)短路，當沉積電場由于某種原因產(chǎn)生火花放電時，由于電源輸出電流是“高壓”，電場中的電流不會增加，而電網(wǎng)輸入電流卻大大減少，僅為額定值的10％，確保了電源設(shè)備的安全。同時，由于“高壓”，使得放電通道自行消失，不過渡到弧光放電，保護了電暈線和陰陽極板。
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